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烟台净化工程的气压和温度如何控制的?

发布时间:2022-08-19 11:21:07 人气:92

1.洁净室内温湿度控制

洁净空间的温湿度主要根据工艺要求确定,但在满足烟台净化工程工艺要求的情况下,应考虑人的舒适性。随着空气清洁度要求的提高,工艺对温湿度的要求越来越严格。

未来将列出具体工艺对温度的要求,但作为一般原则,由于加工精度越来越精细,对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大型集成电路生产的光刻曝光过程中,玻璃和硅片作为掩膜板材料的热膨胀系数的差异越来越小。

直径100um硅片,温度上升1度,导致0.24um因此,必须有线性膨胀,因此必须有线性膨胀,±0.恒温1度,湿度值一般较低,因为出汗后会污染产品,尤其是怕钠的半导体车间,不宜超过25度。

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湿度过高会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露。如果发生在精密装置或电路中,会造成各种事故。当相对湿度达到50%时,很容易生锈。此外,当湿度过高时,硅片表面的灰尘会通过空气中的水分子吸附在表面,难以去除。

相对湿度越高,附着力越难去除。但当相对湿度低于30%时,由于静电的作用,颗粒容易被表面吸附,大量半导体器件容易被击穿。硅片生产的较好温度范围为35-45%。

2.烟台净化工程室内压规定

对于大多数清洁空间,为了防止外部污染,需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的维持一般应符合以下原则:

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1.洁净空间的压力高于非洁净空间。

2.洁净度高的空间压力高于相邻洁净度低的空间压力。

3.相通烟台净化工程之间的门要开到洁净度高的房间。

压差的维持取决于新风量,这应该能够补偿在这种压差下从缝隙泄漏的风量。因此,压差的物理意义是通过洁净室各种缝隙泄漏(或渗透)风量的阻力。